MEMS技術を用いた白金薄膜熱抵抗変化型水素ガスセンサの研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-179

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Research on Thermo-resistive Platinum Thin Film Hydrogen Gas Sensor Fabricated by MEMS Techniques

著者名: チンウドンポンエッカリン (早稲田大学),蕾 王(早稲田大学),山崎 大輔(早稲田大学),植田 敏嗣(早稲田大学)

著者名(英語): Ekkarin Chinudomporn(Graduate School of Information,Production and Systems,Waseda University),Lei Wang(Graduate School of Information,Production and Systems,Waseda University),Daisuke Yamazaki(Graduate School of Information,Production and Systems,Waseda University),Toshitsugu Ueda(Graduate School of Information,Production and Systems,Waseda University)

キーワード: 水素センサ|MEMS|マイクロ加工技術

要約(日本語): エネルギーとして用いられる水素ガスは豊富な燃料であるが、爆発しやすいという欠点がある。このような環境で安全性を確保するためには、水素ガス漏れ検知センサが必要不可欠である。本研究では、新しいタイプの熱抵抗変化型のセンサを用いる。Ptの薄膜は水素及び酸素で触媒として反応する。白金の膜が水素ガスと反応したときに水および熱が作り出される。発熱量はPt膜の抵抗変化に比例する。水素濃度を測定するためにPt の抵抗変化を利用するために、白金熱抵抗体を基板の影響を受けない構造の薄膜とした。膜はリフトオフ法により作製した。これにより、基板の影響が小さしを受けない応答および多くの発熱反応を導くことができる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 899 Kバイト