電流検出型サーモカップルの提案

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-180

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Proposal of Current detection type Thermocouple

著者名: 李 承燮(東北学院大学),菅原 利彦(東北学院大学),木村 光照(東北学院大学)

著者名(英語): Seung Seoup Lee (Tohoku-Gakuin University),Toshihiko Sugawara(Tohoku-Gakuin University),Mitsuteru Kimura(Tohoku-Gakuin University)

キーワード: ゼーベック係数|サーモカップル|温度センサ|SOI|カンチレバー|赤外線センサ

要約(日本語): 開放電圧を計測する従来の方式ではなく、低抵抗化した半導体の熱起電力による短絡電流を計測する電流検出型サーモカップルを提案する。縮退したn型SOIと金属薄膜とによる1個のサーモカップルの熱起電力による短絡電流を計測することにより極めて高感度の温度差検出用の電流検出型サーモカップルの温度センサが達成できることと、これをIRセンサに応用し、従来にない超小型化が達成でき、高感度化が達成されたので報告する。SOI層のカンチレバー型受光部としたIRセンサとして実現し、電圧感度Rv＝ 1.02x103 V/Wという極めて大きな値を得た。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,073 Kバイト