検知部・参照部分離構造誘電ボロメータ型赤外線センサアレイの作製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-181

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): A Fabrication of Dielectric Bolometer Mode IR Sensor Array Using Isolation Structure of Detector and Reference

著者名: 松元 光輝(大阪府立産業技術総合研究所),宇野 真由美(大阪府立産業技術総合研究所),村上 修一(大阪府立産業技術総合研究所),井上 幸二(大阪府立産業技術総合研究所),Daniel Popovici(大阪大学),野田 実(大阪大学),奥山 雅則(大阪大学)

著者名(英語): Mitsuteru Matsumoto(Technology Research Institute of Osaka Prefecture),Mayumi Uno(Technology Research Institute of Osaka Prefecture),Shuichi Murakami(Technology Research Institute of Osaka Prefecture),Koji Inoue(Technology Research Institute of Osaka Prefecture),Daniel Popovici(Osaka University),Minoru Noda(Osaka University),Masanori Okuyama(Osaka University)

キーワード: 赤外線センサ|誘電ボロメータ|分離構造|(Ba|Sr)TiO3

要約(日本語): 誘電ボロメータ型赤外線センサの高感度化と高画素密度化を目的として検知部をチップ中央に、参照部をチップ周辺部に配置した分離構造センサアレイを作製した。検知部は4x4のキャパシタを同一ダイアフラム内に配置した。ダイアフラムの大きさは2.2mm角で、キャパシタサイズは100um角である。強誘電体薄膜は(Ba_0.75,Sr_0.253

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 730 Kバイト