サーモパイルとPt触媒を組合せた水素センサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-182

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Hydrogen sensor using silicon thermopile and Pt catalyst

著者名: 中田 嘉昭(堀場製作所),大家 勉(堀場製作所),山岸 豊(堀場製作所),上坂 博二(ホリバアイテック)

著者名(英語): Yoshiaki Nakata(Horiba),Tsutomu Ohie(Horiba),Yutaka Yamagishi(Horiba),Hiroji Kohsaka itech (Horiba itech)

キーワード: サーモパイル|白金触媒|水素センサ

要約(日本語): MEMS技術を使って作製したダイヤフラム構造Siサーモパイルの温接点部に、繊維状物質にPt微粒子を分散させた触媒層を形成した構造の水素ガスセンサを試作した。水素ガスはPt微粒子触媒によって室温で酸化され、この際の発熱をSiサーモパイルで直接検出する。Siサーモパイルの温接点は薄膜化されているため、水素ガスの検出を高感度・高速に行うことができる。またSiサーモパイルはSiプロセスコンパチブルであるために量産化が容易であり、燃料電池関連への応用が期待できる。200ppm水素による応答特性と100?8000ppmの濃度依存性を確認したので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 820 Kバイト