ボールレンズ集積化結像型マイクロエンコーダ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-184

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Imaging type micro-encoder integrated with ball lens

著者名: 佐々木 実(東北大学),中井 布喜(東北大学),羽根 一博(東北大学),横溝 寛治(ソニー),堀 和仁(ソニー)

著者名(英語): Minoru Sasaki(Tohoku University),Fuki Nakai(Tohoku University),Kazuhiro Hane(Tohoku University),Kanji Yokomizo(Sony Corporation),Kazuhito Hori(Sony Corporation)

キーワード: マイクロエンコーダ|ボールレンズ|光集積化

要約(日本語): メカトロニクス機器の小型・高精度化のためにはエンコーダの小型化が求められる。絶対位置が検出できるアブソリュート型が好まれる。光学式は非接触で高精度が得易いが、複数の光学部品（発光・受光素子、レンズ、コード板）を正確に配置する必要がある。市販の小型ロータリーエンコーダはφ35mm, t20mm程度である。サイズが大きい原因の一つに、アブソリュート型で必須となる結像レンズを小さく正確にアセンブリすることが難しいことがある。本研究では、t2mmのエンコーダ開発を目標とした。φ25mmのコード板を想定し、分解能は12bitとした。φ0.3mmボールレンズを用いた。フォトダイオードと一緒に用意した、高アスペクト比構造をアライメントガイドにすることで、レンズのアセンブリを行った。M系列信号をPDで検出した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,547 Kバイト