撓み制御と分極相補を利用した圧電型超音波センサの感度向上

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-185

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Sensitivity improvement of piezoelectric ultrasonic sensors using combination of deflection control and complementary polarization

著者名: 山下 馨(大阪大学),清水 信樹(大阪大学),奥山 雅則(大阪大学)

著者名(英語): Kaoru Yamashita(Osaka University),Nobuki Shimizu(Osaka University),Masanori Okuyama(Osaka University)

キーワード: 超音波センサ|圧電|ダイアフラム|撓み|分極

要約(日本語): 圧電体を含む多層膜から成るダイアフラム型超音波センサはその静的撓み形状が感度に大きな影響を与えることが分かっており、圧電体が存在する側に静的撓みを持つ方が感度が向上する。また振動する圧電ダイアフラム上の分極分布は正・負両領域が存在し、それぞれの領域に分けて電極を配置して異符号の分極の差分を取り出すこと（分極相補）により、大きな圧電出力が得られることが分かっている。今回は、分極相補に大きな影響を与える寄生容量の低減化を図るとともに、静的に撓ませたダイアフラム上に分極相補型電極を配置して更なる感度の向上を目指し、最適な電極配置について数値計算による設計と実際に作製したセンサの特性から検討を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,152 Kバイト