バルクMEMSを用いた振動型加速度センサとその周辺回路に関する研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-186

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Study on Bulk-Micromachined Vibratory Beam Accelerometer and Their Interface Circuitry

著者名: 岡田 宏紀(兵庫県立大学),三木 芳彦(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),高山 洋一郎(兵庫県立大学)

著者名(英語): Hiroki Okada(University of Hyogo),Yoshihiko Miki(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Yoichiro Takayama(University of Hyogo)

キーワード: 加速度センサ|共振|振動型加速度センサ|PLL|VCO

要約(日本語): 本報告では、安定かつ高分解能に加速度検出を可能とする振動型MEMS加速度センサについて述べる。デバイスは4本の梁が中央のマスを支持する構造であり、バルクマイクロマシニングを用いることで大きな質量を得、加速度に対して大きな応力を振動梁に与えられる構成とした。デバイスサイズは5×5mmである。センサ出力は対角に配置した2本の梁の共振周波数の差である。周辺回路としては高いS/Nで共振周波数が計測できるよう、オーバートーンPLL回路を提案した。その結果、大気中動作において印加加速度に対して60Hz/Gの共振周波数差を得た。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,160 Kバイト