除振装置における圧力フィードバックの除振率への影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-209

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

タイトル(英語): Influence on Transmissibility of Anti-Vibration Apparatus with Pressure Feedback

著者名: 伏間千鶴 (東京農工大学),高橋 正人(ニコン),涌井 伸二(東京農工大学)

著者名(英語): Chizuru Fushima(Tokyo University of Agriculture and Technology),Masato Takahashi(NIKON CORPORATION),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: 除振装置|正帰還|圧力|除振率

要約(日本語): 除振装置は搭載される精密計測機器や精密位置決め機器に対して外乱振動を入れない働きを持つ．相対位置の微分信号を正帰還することによって除振装置の圧力応答に出現する反共振・共振特性が解消できることをすでに示した．本稿では正帰還，圧力FB，加速度FB，そして位置FBを投入したときの除振率について考察した．圧力FBの帯域を広く設定し，かつ除振台を所定位置に定位させるサーボゲインを投入したとき除振率の劣化が懸念される．しかし，根・零点軌跡および周波数特性からみて除振率の周波数応答を劣化させることはないことを示した．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,454 Kバイト