大気圧グロープラズマCVDによる材料合成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-S6-4

グループ名: 【全国大会】平成18年電気学会全国大会論文集

発行日: 2006/03/15

著者名: 野崎智洋 (東京工業大学),大西空摩 (東京工業大学),岡崎 健 (東京工業大学),Lorenzo Mangolini (University of Minnesota),Joachim Heberlein (University of Minnesota),Uwe Kortshagen (University of Minnesota)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 4,166 Kバイト