実験を想定した正方形マイクロ波励起プラズマ装置に関する研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-013

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Study on a Micro Wave Square Plasma Source for experiments

著者名: 吉岡 悠(東京理科大学),小越 澄雄(東京理科大学)

著者名(英語): Yuu Yoshioka(Tokyo University of Science),Sumio Kogoshi(Tokyo University of Science)

キーワード: ぷらずま

要約(日本語): 従来の共鳴吸収を利用したマイクロ波励起プラズマ装置にひだ状の導体を加えることを提案した。今回、その結果を実証する装置の設計を行い、その性能についてFDTD法(Finite Difference Time Domain)で電磁界数値解析を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 819 Kバイト