直流電圧印加による表面波プラズマパラメータの改善

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-014

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): The improvement of surface wave plasma parameters with DC bias

著者名: 武捨章洋 (東京理科大学),小越 澄雄(東京理科大学)

著者名(英語): Akihiro Musha(Tokyo University of Science),Sumio Kogoshi(Tokyo University of Science)

キーワード: 表面波プラズマ|直流電圧印加

要約(日本語): 桂井・金氏により、表面波プラズマに直流電圧を印加することで、高密度・低電子温度化、ダイヤモンド薄膜の性質向上といった報告がなされた。プラズマパラメータの制御が可能であるということが示せれば、微細加工用プラズマ源などへの応用が広がると考えられる。数値シミュレーションにより、実験結果の定性的再現及び電子密度・温度が変化した理由の解明を行った。表面波プラズマにマイナスの直流電圧を加えると、他の入力パラメータが同じでも、より高密度、低電子温度となる。これは桂井・金氏の実験結果と定性的に一致する。これにより、プラズマパラメータを改善する際において直流電圧を加える方法の有効性が示された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 645 Kバイト