酸化膜除去における減圧アーク陰極点個数の圧力特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-048

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Pressure characteristics of low pressure arc cathode spot number in oxide layer removal

著者名: 山川翔平 (中央大学),岩尾 徹 (武蔵工業大学),稲葉次紀 (中央大学)

キーワード: 減圧アーク|酸化膜除去|圧力|陰極点

要約(日本語): 減圧下においてアークプラズマを発生させることで陰極表面上に発生する駆動陰極点により表面層を蒸発・揮散させ取り除く表面処理技術が注目されている。本技術を利用することで,既存の除染技術である酸・アルカリ溶液による化学的除染,あるいはブラスト（金属微粒子吹き付け）による機械的除染における廃液処理・有害スラッジの発生や騒音・粉塵の発生等といった問題が解決できる。しかし,圧力と陰極点の関係性は未解明な部分が多い。本論文では,炭素鋼上10μm厚の表面酸化膜の除去を対象とし,圧力と陰極点除去性能の関係性の解明に取り組んだ。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 113 Kバイト