銅ワイヤを用いたマイクロ放電による超微粒子生成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-057

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Nanoparticle production by micro discharge using copper wire

著者名: 金丸 誠 (東京工業大学),飯野洋介 (東京工業大学),橋本 隆 (東京工業大学),井深真治 (東京工業大学),安岡康一 (東京工業大学),石井彰三 (東京工業大学)

キーワード: マイクロ放電|超微粒子|銅ワイヤ|SEM画像|放電加工

要約(日本語): マイクロ放電と放電加工技術の知見を組み合わせた新しい超微粒子生成方法を提案する。電極形状はワイヤ対平板構造で、超微粒子となるワイヤは銅で直径100µm、平板電極はタングステンで大きさが1cm×1cmである。電極間領域は液体中にあり、放電発生の条件を考慮し、液体として直流電圧印加時に絶縁油、パルス電圧印加時に水を用いた。電源は直流電源と繰り返しパルス電源の二種類を用いた。また、電極間隔の調節にはピエゾステージとステッピングモーターを使用し、最小変位で20nmの制御ができる。結果としてアーク放電による1分間あたりの銅ワイヤ電極の蒸発量とパルス電圧印加時に生成した銅の超微粒子のSEM画像を示す。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 827 Kバイト