並列MHCD を利用した大容積プラズマ源に与える単一MHCD の影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-059

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Effects of One MHCD to the Large Volume Plasma Using Parallel MHCDs

著者名: 石ヶ谷 章弘(埼玉大学),明石 康行(埼玉大学),高嶺 吉典(埼玉大学),前山 光明(埼玉大学)

著者名(英語): Akihiro Ishigaya(Saitama University),Yasuyuki Akashi(Saitama University),Yoshinori Takamine(Saitama University),Mitsuaki Maeyama(Saitama University)

キーワード: マイクロカソード放電|MHCD

要約(日本語): 複数のマイクロホローカソード放電プラズマ源と第三の電極を用いた大気圧大容積放電プラズマ源の開発を目指して研究を行っている。これまで、MHCD 単一の出力の拡大、2つ以上のMHCDを並列動作させるための条件についての研究を行ってきた。本研究では、単一MHCD と第三の電極との間にグロープラズマを発生させることのできる条件および第三電極との放電に与えるMHCD の影響について調べ、第三電極との間に複数グロープラズマを並列に発生させることのできる条件を求める研究を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 695 Kバイト