Arエキシマから放射された放電発光の分光

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-072

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Emission Spectroscopy of discharge light radiated from Ar excimer

著者名: 稲田 大輔(千葉工業大学),鈴木 進(千葉工業大学),伊藤 晴雄(千葉工業大学)

著者名(英語): Daisuke Inada(Chiba Institute of Technology),Susumu Suzuki(Chiba Institute of Technology),Haruo Itoh(Chiba Institute of Technology)

キーワード: 圧電トランス|強誘電体|誘電体バリア放電|エキシマ|真空紫外光

要約(日本語): 著者らは強誘電体(Pb(Zr・Ti)O₃)製圧電トランス（PT）用いた各種プラズマリアクタの開発としてPT型エキシマランプの研究を行なっている。エキシマランプはUV及びVUV領域の光源として半導体のドライ洗浄、表面改質などに用いられている。PTはコンパクトで、1次側(駆動部)と2次側(発電部)から構成されており、1次側に数10Vを印加することで2次側では高電圧を発生する高電圧発生素子である。そのため、PTに対向してガラス電極を配置すると、その間で誘電体バリア放電(DBD)を発生させることができる。このDBD発生器をHe/Xe混合ガス中で駆動するとXeエキシマ(Xe₂*)172nmのVUV光が放射されていることを以前報告した。本報告では、同じ実験をArガス中で行ないArエキシマ(Ar₂*)から126nmの光が放射されていることを分光実験により確かめた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 613 Kバイト