リモートプラズマ法による表面改質の進行過程

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-073

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Progress of surface modification by a remote plasma method

著者名: 松井康浩 (金沢工業大学),斉藤 潤 (金沢工業大学),高塚大輔 (金沢工業大学),柳沢雄太 (金沢工業大学),吉岡芳夫 (金沢工業大学)

キーワード: プラズマ|表面改質|プラスチック|バリア放電|接触角

要約(日本語): プラスチックは安価で加工に優れるが，撥水性を有するために接着と印刷に難がある。さらなる技術発展には，この短所を改善する必要がある。この短所改善の方法の一種に，プラズマによる表面改質があり，直接放電方式とリモートプラズマ方式に分けられる。筆者らの目的は，リモートプラズマ方式を直接放電方式のように実用化することである。今回は，そのために両方式における表面改質の進行過程を比較した。また，それぞれ窒素プラズマおよび酸素プラズマを用いて表面改質を行った。その結果，直接放電方式では酸素プラズマの，リモートプラズマでは窒素プラズマの表面改質の処理効果が早く現れることがわかった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,126 Kバイト