C5F8ガス中の電子輸送係数の測定（その5）

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-080

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Measurement of electron transport coefficients in C₅F₈ (5)

著者名: 佐藤 智博(北見工業大学),吉田 公策(北見工業大学)

著者名(英語): Tomohiro Sato(Kitami Institute of Technology),Kosaku Yoshida(Kitami Institute of Technology)

キーワード: 電子輸送係数|オクタフルオロシクロペンテン|ドリフトチューブ実験|ATS解析

要約(日本語): 筆者らは，プラズマエッチングガスとして使用されているC5F8ガス中の電子輸送係数をSST(Steady State Townsend）法およびATS(Arrival Time Spectra)法で測定している。しかし，実効電離係数が両測定法で一致しないことからその検討を進めている。今回，十分長い時間範囲で電子到着時間分布を測定した結果，初期電子パルスの到着後長く尾を引く到着時間分布が測定された。この尾の部分を含めて解析したところ，SST実験の結果と一致した実効電離係数が算出され，従来のATS実験とSST実験の差異の原因が電子分離であることを示唆する結果が得られた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 881 Kバイト