CF4中衝撃電界電子加速におけるエネルギー効率の電界波形依存性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-081

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Dependence of Energy Efficiency on Waveform of Electric Field in Impulse-Field Electron Acceleration in CF₄

著者名: 荒木田大嗣 (北海道大学),森 直樹(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学),須田 善行(北海道大学),酒井 洋輔(北海道大学)

著者名(英語): Daishi Arakita(Hokkaido University),Naoki Mori(Hokkaido University),Hirotake Sugawara(Hokkaido University),Yoshiyuki Suda(Hokkaido University),Yosuke Sakai(Hokkaido University)

キーワード: プラズマ|衝撃電界|電子加速|衝突|エネルギー効率|フルオロカーボン

要約(日本語): CF4は地球温暖化係数が高く大気中寿命も長いため効率的分解処理法が求められている。著者らが検討してきた衝撃電界電子加速法はCF4分解が起こり易いエネルギー域を狙い低エネルギー電子を瞬時に加速し、プラズマ中のCF4分解反応を選択的に促進することでエネルギー効率向上を目指す手法である。衝撃電界波形を変えたとき、電子加速と加速後の緩和過程でエネルギー分布、衝突回数、エネルギー効率が変化する様子について調べた。衝撃電界電子加速では、所望のエネルギー域に電子を到達させるのに充分な強度の電界を、電子加速過程での電子衝突が少なくなるよう短いインパルス幅で印加することで効率的な電子加速ができる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 924 Kバイト