小電流直流真空アークプラズマの形態と維持に及ぼす陽極内埋め込み磁石の効果

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-083

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Effect of Embedded Magnet in Anode for Shape and Sustaining of Low Current DC Vacuum Arc Plasma

著者名: 小林 一貴(茨城大学),小林 雄一(茨城大学),山田 貴嗣(茨城大学),柳平 丈志(茨城大学),鶴田 浩一(茨城大学)

著者名(英語): Kazuki,Kobayashi|Yuichi,Kobayashi|Takatsugu,Yamada|Takashi,Yanagidaira|koichi,Tsuruta

キーワード: アーク放電|真空|カソードスポット

要約(日本語): 小電流真空アークについては、磁界印加によるカソードスポットの運動に着目した報告がある一方で、安定維持に関する報告は少ない。我々の研究室では小電流でも安定した放電が実現すれば消費電力の少ない金属イオン源に応用できると考えている。本実験では、陽極内部に磁石を埋め込むことで、アークプラズマの拡散抑制と、アーク柱の陽極端の陽極中心への集中を試みた。また陽極内に磁石を埋め込むと同時に陽極の背後に配置し、ギャップ長を40 mmまで伸ばした場合のアーク発光の様子やアーク電圧を観察した。磁界測定装置を作製し、実際の磁界分布からアーク放電を考察した。その結果、磁石埋め込み陽極によりアーク柱の陽極端を陽極の中心に安定して絞り込むことに成功し、磁石の配置によっては径方向の磁界成分によりアーク電圧が23V位まで上昇することがわかった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,745 Kバイト