電子線照射により帯電したガラスのフラッシオーバ電圧

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-089

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Flashover Voltage on Insulation Glass Charged by Electron Beam Irradiation

著者名: 畑中 歩(日立製作所),森田 裕(日立製作所),武内 良三(日立製作所)

著者名(英語): Ayumu Hatanaka(Hitachi,Ltd.),Hiroshi Morita(Hitachi,Ltd.),Ryozo Takeuchi(Hitachi,Ltd.)

キーワード: 電子線|帯電|フラッシオーバ|X線管球|電子顕微鏡

要約(日本語): X線管球、電子顕微鏡などの真空中で電子線を利用する機器では、高出力化・高電界化に伴い、電子線照射による帯電がフラッシオーバ電圧（FOV）低下を招くことが懸念されている。今回、?円筒ガラス内側への電子線照射中の帯電状況の測定と、?円筒ガラス内側に配置した電極ギャップ間における電子線照射なしとありの場合のフラッシオーバ電圧を測定した。この結果、電子線照射ありの場合にフラッシオーバ電圧は小さい値となった。電子線照射による帯電を考慮したシミュレーションによる検討では、電子線照射した場合に陰極三重点付近で電界集中がみられ、実験結果を支持するものとなった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 844 Kバイト