容量結合型放電によるオゾン生成に関する研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-097

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Study of ozone generation by capacity coupled discharge

著者名: 岡部 恭寛(武蔵工業大学),大石 裕次郎(武蔵工業大学),江原由泰 (武蔵工業大学)

著者名(英語): Takahiro Okabe(Musashi Institute of Technology),Yujiro Oishi(Musashi Institute of Technology),Yoshiyasu Ehara(Musashi Institute of Technology)

キーワード: 容量結合型放電|オゾン|大気圧プラズマ

要約(日本語): 近年では大気圧プラズマとして，バリア放電の技術が用いられている。これを利用することで，電子温度の高いプラズマを生成することが可能となり，高い反応性を得ることができる。しかし電極間に誘電体を必要とすることから，大面積化に伴い無効電力が増加するといった問題があるため，放電電極にコンデンサを直列結合させて，間欠放電を発生させるという方式が提案された。本研究ではこの容量結合型放電を用いてオゾン生成を行い，その有効性を明らかにすることを目的としている。結合させるコンデンサを4種類使用し、オゾン生成を行った結果いずれの条件でも50ppm程度が最大濃度となった。これは空間温度が上昇したためにオゾンの分解反応が進んだためであると考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 759 Kバイト