両極性パルス加速器によるイオンビーム加速

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-181

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Ion beam acceleration by bipolar-pulse accelerator

著者名: 中西 大介(富山大学),御舘洋文 (富山大学),北村 岩雄(富山大学),伊藤 弘昭(富山大学),升方 勝己(富山大学)

著者名(英語): Daisuke Nakanishi(University of Toyama),Hihofumi Ontati(University of Toyama),Iwao Kitamura(University of Toyama),Hiroaki Ito(University of Toyama),Katumi Masugata(University of Toyama)

キーワード: 両極性パルス|マルクス発生器|パルス整形線路|イオンビーム

要約(日本語): 高強度パルス重イオンビーム（Intense Pulsed Ion Beam:PIB）は材料の表面処理や次世代半導体材料への新しいイオン注入技術（パルスイオン注入法）などの応用に期待されている。本研究では、PIBの純度をイオンビームを加速させる段階において向上させることが出来る両極性パルス加速器を提案し開発を行ってきた。基本原理は2段の静電加速で、イオンの質量差による速度の違いを利用して不純物イオンを除去し、ビーム純度を向上させるというものである。今回、両極性パルスによるイオンビームの加速実験を行ったので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 792 Kバイト