高強度パルス重イオンビームの特性評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-182

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Evaluation of intense pulsed heavy ion beam

著者名: 三宅 秀典(富山大学),海老江 武(富山大学),北村 岩雄(富山大学),伊藤 弘昭(富山大学),升方 勝己(富山大学)

著者名(英語): Hidenori Miyake(University of Toyama),Takesi Ebie(University of Toyama),Iwao Kitamura(University of Toyama),Hiroaki Ito(University of Toyama),Katumi Masugata(University of Toyama)

キーワード: 高強度パルス重イオンビーム|磁気絶縁イオンダイオード|ガスパフプラズマガン|トムソンパラボラエネルギー分析器

要約(日本語): 高強度パルス重イオンビーム ( PHIB ) は、イオン注入と同時に材料表面を高温に加熱することができ、SiC等の高融点材料への新しいイオン注入法として期待されている。本研究では、高純度のPHIB発生を目指して、ガスパフプラズマガンをイオン源としたイオンの加速実験を行っている。また、パルスイオン注入の検証を行うためには、開発されたイオンダイオードによって得られるイオンビームの特性（イオン種、純度等）を評価する必要がある。そこで現在、トムソンパラボラエネルギー分析器 ( TPS ) を使用して、PHIB のエネルギー、イオン種、純度の評価を行っている。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,192 Kバイト