Ar-N2誘導熱プラズマへのH2およびO2混入効果の熱的反応論的非平衡解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-199

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Effect of Hydrogen and Oxygen Gas Inclusion on High Power-Density Ar-N₂ Inductively Coupled Plasmas

著者名: 田中 康規(金沢大学)

著者名(英語): Yasunori Tanaka(Kanazawa University)

キーワード: 誘導熱プラズマ|反応非平衡|熱的非平衡

要約(日本語): 筆者らは高気圧・高電力密度Ar-N₂ 誘導プラズマに対し，これまでに熱的反応論的非平衡性を導入した電磁熱流体モデルを構築している。一方，実際の窒素化処理においてはN₂にH₂を混合させたり，ガスとしてNH₃を導入させたりして窒化を促進させる手法が採られる。最近では，様々な複合反応を実現するために，2種類以上の反応ガスを導入する熱プラズマプロセスが行われている。この場合，容器内部での反応が極めて複雑になり，またそれらがプラズマ温度分布・流速分布にも影響を与える。本報では，誘導プラズマに対して熱的反応論的非平衡を考慮した電磁熱流体解析モデルを構築し，反応容器内の原子・分子密度分布および温度分布に与えるH₂およびO₂混合効果を検討した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,152 Kバイト