極端紫外光源プラズマのレーザトムソン散乱法による計測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-201

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Thomson Scattering diagnostics of plasmas for extreme ultraviolet lithography

著者名: 山田 貴夫(九州大学),富田 健太郎(九州大学),荒木 俊二(九州大学),香川 敦祐(九州大学),内野 喜一郎(九州大学),今村 英樹(熊本大学),勝木 淳(熊本大学),秋山 秀典(熊本大学)

著者名(英語): Takao Yamada(Kyushu University),Kentaro Tomita(Kyushu University),shunji Araki(Kyushu University),Taisuke Kagawa(Kyushu University),Kiichiro Uchino(Kyushu University),Hideki Imamura(Kumamoto University),Sunao Katsuki(Kumamoto University),Hidenori Akiyama(Kumamoto University)

キーワード: 極端紫外光|リソグラフィー|Zピンチプラズマ|協同トムソン散乱

要約(日本語): 極端紫外光源用Zピンチプラズマの計測を、レーザトムソン散乱法を用いて行った。この研究では、計測レーザ波長（λ=532 nm）周辺にあらわれる、半値全幅で150 pm程度のイオン項を、波長分解能16 pmで測定した。測定には本研究専用に製作した、3枚の回折格子を用いた特別な分光器を使用することで、電極表面からの強い器壁散乱光とイオン項の分離を行った。実験の結果、アルゴンガス内で生成されたZピンチプラズマの電子密度、電子温度、平均イオン荷数を、測定誤差±10 ％程度の範囲内で評価することができた。この計測をZピンチプラズマ発生軸（Z軸）上の様々な点で行い、各プラズマパラメータの空間分布を調べた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 974 Kバイト