微細ガス流マイクロプラズマから流出する軸方向イオン電流の特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-203

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Characteristic of ion flow axially generated by microplasmas with helium miniature gas flow

著者名: 南野健一 (東京工業大学),山内隆彦 (東京工業大学),井深真治 (東京工業大学),安岡康一 (東京工業大学),石井彰三 (東京工業大学)

キーワード: マイクロプラズマ|ガス流|イオン電流

要約(日本語): 微細ガス流を用いた放電では、ノズル電極に対向するメッシュ電極やホロー電極から軸方向に流出するイオン流が検出される。この結果からマイクロプラズマを微小なイオン源として利用することが考えられる。そこで、本研究では観測されるイオン電流の特性を、メッシュ電極およびホロー電極を用いた場合について印加電圧、ガス流量、電極の極性による特性の違いを比較検討した。電源電圧特性では、穴径が400μmのホロー電極のときの結果から、電源電圧によって放電の形態が変化し、その変化がイオン電流に反映されていることが明らかになった。また、流量特性の結果から、メッシュ電極よりもホロー電極の方がイオン電流を取り出すのに適した構造であることがわかった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 902 Kバイト