マイクロ波放電窒素酸素混合プラズマ中の窒素および酸素の解離度について

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-205

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Dissociation Degree of Nitrogen and Oxygen in N₂-O₂ Microwave Discharge Plasma

著者名: 市川 陽亮(東京工業大学),坂本 武士(東京工業大学),松浦 治明(東京工業大学),赤塚 洋(東京工業大学)

著者名(英語): Yosuke Ichikawa(Tokyo Institute of Technology),Takeshi Sakamoto(Tokyo Institute of Technology),Haruaki Matsuura(Tokyo Institute of Technology),Hiroshi Akatsuka(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 窒素プラズマ|酸素プラズマ|解離度|アクチノメトリー|モデリング

要約(日本語): マイクロ波放電により、窒素、酸素及びその混合プラズマを発生し、窒素及び酸素分子の解離度をアクチノメトリー法で測定した。その結果、窒素の解離度は1%以下、酸素の解離度は1 ? 3 %であった。窒素プラズマに関しては、プラズマ内の分子過程をモデル化し、電子温度、電子密度、放電気圧、ガス温度を入力として励起状態数密度を理論検討した。EEDFはボルツマン方程式を解いたものを用いた。その計算の結果求めた窒素プラズマ中の窒素分子解離度は、実測値と比較的良い一致を示した。酸素窒素混合プラズマについては、放電気体中の窒素分率が上昇するほど、酸素・窒素ともに解離度が上昇する傾向が見いだされた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,820 Kバイト