Ar-N2誘導熱プラズマのパルス変調による窒素原子数増幅効果のコイル電流依存性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-206

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Effect of modulated coil-current on the number of nitrogen atom in Ar-N₂ induction thermal plasma.

著者名: 林 耕平(金沢大学),中村 司(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学)

著者名(英語): Kohei Hayashi(Kanazawa University),Tsukasa Nakamura(Kanazawa University),yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University)

キーワード: 熱プラズマ|パルス変調|窒化処理|励起窒素原子

要約(日本語): 金属表面に対する窒化処理は，表面硬度や耐摩耗性を向上させることからさかんに利用されているが，30分?数十時間もの処理時間を要する。このため高温熱プラズマのもつ高い反応性を用いて高速窒化処理を行うことが試みられている。熱プラズマを用いた窒化処理においては，被照射物の基板温度と，励起窒素原子のような反応しやすい窒素粒子の存在が重要である。筆者らは，パルス変調プラズマを用いれば，プラズマ下流部への流入励起窒素原子数を増加できることを見出しているが，増幅させる条件などに関して解明されていない。本報は，コイル電流条件を変化させた場合について，窒化処理位置でのNスペクトル放射強度を測定し，Ar-N₂ PMITPの窒化用熱源としての特性を検討した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,570 Kバイト