トリプルプローブ法および分光観測によるパルス変調誘導熱プラズマの電子温度とAr励起温度の比較

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-207

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Canparison of Electron Temperature and Ar Excitation Temperature in Pulse-Modulated Induction Thermal Plasma using Triple Probe Method and Spectroscopic Observation.

著者名: 竹口雄治 (金沢大学),川下嘉章 (金沢大学),上杉喜彦 (金沢大学),田中康規 (金沢大学)

キーワード: 静電プローブ|パルス変調|電子温度|励起温度

要約(日本語): 近年、熱プラズマは材料生成、ナノ粒子生成、廃棄物処理などの分野で応用がなされている。本研究室ではパルス変調誘導熱プラズマ( PMITP )と呼ばれる時間的に熱プラズマへの高周波電力の供給を変化させることによって生成されるプラズマを用いている。このPMITPは熱プラズマの温度場を制御できることから材料プロセスへの応用に期待できる。PMITPにおけるプラズマ温度・密度の動的変化の解明は上記の応用研究にとって必要不可欠である。本報告では静電プローブ法の1つであるトリプルプローブ法による電子温度の計測, Arスペクトル放射強度の分光観測によるAr励起温度の計測の2つの手法を用いてパルス変調誘導熱プラズマの動的特性の解明を試みている。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,464 Kバイト