電解質溶液を陰極とした微細ガス流を用いた大気圧グロー放電の生成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-212

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Atmospheric dc glow discharge with a miniature gas flow using an electrolyte cathode

著者名: 白井 直機(東京工業大学),松井 弘毅(東京工業大学),井深 真治(東京工業大学),安岡 康一(東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学)

著者名(英語): Naoki Shirai(Tokyo Insititute of Technology),Koki Matsui(Tokyo Insititute of Technology),Shinji Ibuka(Tokyo Insititute of Technology),Koichi Yasuoka(Tokyo Insititute of Technology),Shozo Ishii(Tokyo Insititute of Technology)

キーワード: マイクロプラズマ|大気圧グロー|液体陰極|ガス流

要約(日本語): 電極間距離が数100ミクロンのマイクロギャップにおいて、液体と微細ガス流を組み合わせることで、液体水面上に大気圧グロー放電を生成し、その諸特性を調べた。液体電極のもつ冷却効果や電極の損傷がないといった特徴は、マイクロオーダーのプラズマにおいて、よりその効果が期待され、これまでに微細ノズル対金属電極間において大気中でマイクロプラズマの生成を行ってきたが、微細ノズルの対向電極を液体にすることで、ガス流と液体電極による高い冷却効果、電極損傷のない連続動作が可能となる。これらの放電により、マイクロオーダーでの気相、液相間での様々な化学プロセスへの応用が考えられ、半導体プロセスから、バイオ、医療の分野まで、幅広い応用が期待される。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 945 Kバイト