真空パルスアークプラズマ金属イオンの速度分布と価数分布の方向依存性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-216

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Dependence on Expanding Direction of Direct Velocity and Charge State of Metal Ions in Vacuum Pulse Arc Plasma

著者名: 大内 光洋(茨城大学),梶原悠一 (茨城大学),柳平 丈志(茨城大学),鶴田 浩一(茨城大学)

著者名(英語): mitsuhiro Ouchi(Ibaraki University),Yuichi Kajiwara(Ibaraki University),Takeshi Yanagidaira(Ibaraki University),Koichi Tsuruta(Ibaraki University)

キーワード: 真空パルスアークプラズマ|イオン速度|イオン価数|プラズマ伝播方向|Time of flight 法

要約(日本語): 真空パルスアーク金属蒸気プラズマは金属薄膜生成や真空アークスラスターなどの金属イオン源として応用されている。アークをパルスにすることにより，イオンの価数を上昇させる効果があることも報告されている。イオンの速度と価数は応用上重要であるので、その制御の前段階として，これらの特性がプラズマの伝播方向にどのように依存するかを明らかにする。銅，亜鉛，銀，鉛陰極を用い，継続時間 30ms，波高値150A の真空パルスアークを発生させ，メッシュ陽極を通過して放電軸方向に伝播するプラズマ中のイオンと，放電軸より径方向に伝播するプラズマ中のイオンをTime of flight (TOF) 法で測定する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,828 Kバイト