表面波プラズマによるカーボンナノチューブの生成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-227

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Production of carbon nano tube using surface wave plasma

著者名: 長尾嘉郎 (武蔵工業大学),小野 茂 (武蔵工業大学)

キーワード: カーボンナノチューブ|表面波プラズマ|アルコール

要約(日本語): カーボンナノチューブの生成法にはアーク放電法、レーザー蒸発法、CVD法の主に3つの生成方法があるが、我々はCVD法において、表面波プラズマを用いてプラズマCVD法によってカーボンナノチューブの生成実験を行った。炭素源には、アモルファスカーボンなどの不純物を含みにくいアルコールを使用した。プラズマCVD法では、プラズマと基板表面の間に強電場が存在するシースが形成されるため、垂直に配向されたCNTが生成可能といった特徴がある。表面波プラズマでは容易に大口径化に対応可能といった特徴があり、以上の特徴を生かし、大面積な基板に高品質かつ大量にCNTを生成することを目的とする。評価方法としてはSEM、TEMやラマン分光測定などを行う。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 679 Kバイト