高周波プラズマアルコールCVD法によるCNTの生成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-229

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Synthesis of carbon nanotubes by RF plasma CVD method using alcohol

著者名: 岡山 倫之(武蔵工業大学),小野 茂(武蔵工業大学)

著者名(英語): Noriyuki Okayama(Musashi Institute of Technology),shogeru ono(Musashi Institute of Technology)

キーワード: カーボンナノチューブ|高周波プラズマ|化学気相堆積法

要約(日本語): CNTを生成する方法として、アーク放電法、レーザ蒸発法、化学気相堆積(CVD)法などがある。プラズマCVD法、より低い温度でCNTを生成することができ、CNTを基板に垂直配向させられるという利点がある。また、炭素源としては炭化水素ガスが用いられている。そこで、炭素源として酸素原子を含むアルコールを用いることで、アモルファスカーボン、金属微粒子などをほとんど含まないCNTの合成と極めて簡単かつ安全な装置での合成が可能となっていると熱CVD法により報告されている。そこで私たちは、新たな生成方法として、炭素源をしてアルコールを用い、高周波プラズマCVD法によりCNTの生成を行った。炭素源にはエタノールを用い、バブリングによりチャンバに注入した。CNTはニッケル基板上に生成した。放電電力や圧力などの諸条件を変化させ、その影響を調べた。生成したものは、走査型電子顕微鏡(SEM)やラマン分光法などで分析した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 985 Kバイト