酸化イットリウムの感湿特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-091

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Humidity Sensitive Characteristics of Yttrium Oxide

著者名: 佐々木 孝明(関東学院大学),三木 晋作(関東学院大学),平松 友康(関東学院大学)

著者名(英語): Takaaki Sasaki(Kanto-Gakuin University),Shinsaku Miki(Kanto-Gakuin University),Tomoyasu Hiramatsu(Kanto-Gakuin University)

キーワード: 湿度センサ|酸化イットリウム|感湿性

要約(日本語): 先進工業国の中でも日本はとりわけ高温多湿なため、大気中の水分に細心の注意を払う必要のある工業が数多く存在する。このような背景があり湿度の変化に伴う問題を回避するためには正確な湿度センサが必要不可欠であり、本研究では湿度センサについての研究を行っている。基本的に、感湿性をもつ物質は吸水のための活性サイトが存在するということを踏まえて、今回の実験ではこの活性サイトを多分に含むと言われている酸化イットリウムについて感湿性を調査したところ、良好な特性が得られたので報告する。当日の発表では小型化・IC化を視野に入れた上で、材料を薄膜化した場合の特性なども発表する予定である。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 710 Kバイト