時間分解光熱分光法によるGaN薄膜の熱物性評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-093

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Thermophysical Properties of GaN Thin Film by Photothermal Spectroscopy

著者名: 栗坂 昌克(阿南工業高等専門学校),原 賢二(阿南工業高等専門学校),釜野 勝(阿南工業高等専門学校),原口 雅宣(徳島大学),福井 萬壽夫(徳島大学),岡本 敏弘(徳島大学)

著者名(英語): Masakatsu Kurisaka(Anan College of Technology),Kenji Hara(Anan College of Technology),Masaru Kamano(Anan College of Technology),Masanobu Haraguchi(The University of Tokushima),Masuo Fukui(The University of Tokushima),Toshihiro Okamoto(The University of Tokushima)

キーワード: 窒化物ガリウム|光熱分光法|熱物性|熱伝導率|非発光再結合過程

要約(日本語): 近年、半導体産業は著しく進歩しており、今後も更なる発展が期待されている。なかでもGaN系半導体を用いた発光デバイスは照明分野への応用が望まれており、更に高い発光効率が求められている。発光効率の悪化要因として電子・正孔対の非発光再結合過程が挙げられ、それを評価することは重要である。この非発光再結合過程を評価する方法の1つとして光熱拡散分光法がある。これは、試料に照射した励起光で電子・正孔対を発生させ、その非発光再結合過程で起こる熱膨張を測定し評価を行う方法である。本研究では時間分解光熱拡散分光法でGaN薄膜に対する非発光再結合過程を観測し、その測定結果を解析することで熱物性評価を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 647 Kバイト