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EB法によるBixTey薄膜の作製と評価

EB法によるBixTey薄膜の作製と評価

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カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-094

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Characterization of BixTey thin films prepared by electron beam evaporation method

著者名: 井野 友哉(神奈川大学),山口 栄雄(神奈川大学),米田 征司(神奈川大学)

著者名(英語): Tomoya Ino(Kanagawa University),Shigeo Yamaguchi(Kanagawa University),Seiji Yoneda(Kanagawa University)

キーワード: BiTe|赤外線|比率

要約(日本語): 現在、Bi2Te3はゼーベック式熱電発電素子及びペルチェ式電子冷却素子として用いられているが、半導体の性質を有するにもかかわらず、その特徴を利用した他の用途が実用となっていない。われわれは、Bi2Te3が中?遠赤外領域に波長を持つことに注目し、中?遠赤外線センサとしての可能性を探ることを目的としている。本研究ではBixTey薄膜を作製し、その光導電効果を調べ、赤外線センサとしての可能性を定量的に評価することを目標とした。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 587 Kバイト

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