SPD法で作製したFTO膜の特性と評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-115

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Characterization of FTO film prepared by SPD method

著者名: 宮田 裕之(フジクラ),尾鍋 和憲(フジクラ),臼井 弘紀(フジクラ),後藤 謙次(フジクラ)

著者名(英語): Hiroyuki Miyata(Fujikura Ltd.),Kazunori Onabe(Fujikura Ltd.),Hiroki Usui(Fujikura Ltd.),Kenji Goto(Fujikura Ltd.)

キーワード: 透明導電ガラス|FTO膜|スプレー熱分解法

要約(日本語): 本報では、SPD法により作製したFTO膜について、X線回折分析装置(XRD)、飛行時間型二次イオン質量分析装置(TOF-SIMS)、走査型電子顕微鏡(SEM)などによる膜表面や深さ方向への分析結果を述べるとともに、比抵抗、キャリア密度、移動度などの導電特性や光学特性の測定結果を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 569 Kバイト