PLD法により作製したFe-Pt磁石膜の組成転写性ならびに磁気特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-130

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Magnetic properties of Fe-Pt film magnets prepared by PLD method and reflection of target composition in them

著者名: 柴田 祥吾(長崎大学),渡邊 佳正(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)

著者名(英語): Shogo Shibata(Nagasaki University),Yoshimasa Watanabe(Nagasaki University),Takeshi Yanai(Nagasaki University),Masaki Nakano(Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki University)

キーワード: 薄膜磁石|白金系|プルーム|レーザアブレーション

要約(日本語): 近年、磁石膜を利用した医療用マイクロマシンならびに歯科用磁性アタッチメントの研究などが盛んに報告されている。そのような分野への応用を鑑みると、生体安全性・耐食性を有する材料が所望され、例えばFe-Pt, Co-Pt合金などの白金系磁石が期待される。加えて、磁界供給源としての応用が期待される磁石膜は、ある程度の厚み・体積が必要とされる。既に我々はPLD法を用いたFe-Pt磁石膜の作製において、40μm/h程度の高速成膜を実現できるものの、作製した試料の組成がターゲット組成に比べ、10?20 at.%程度Pt-rich側に組成ズレを生じることを報告した。本稿では、基板の配置位置に着目し、組成転写性ならびに磁気特性について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 853 Kバイト