磁気シールドルーム開口部の短管ダクトの最適設計

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-138

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Study on optimization of short ducts connected with openings of magnetically shielded room

著者名: 山崎 慶太(竹中工務店),藤田 啓義(豊橋技術科学大学),廿日出 好(豊橋技術科学大学),田中 三郎(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Keita Yamzaki(Takenaka Corp.),Hiroyoshi Fujita(Toyohashi Univ. of Technology),Yoshimi Hatsukade(Toyohashi Univ. of Technology),Saburo Tanaka(Toyohashi Univ. of Technology)

キーワード: 磁気シールドルーム|模型実験|磁界解析|開口部|短管ダクト|漏洩磁界

要約(日本語): 生体磁気計測や、電子線描画装置の設置においては、環境磁気ノイズの低減を目的として、一般に多層の磁気シールドルーム(MSR)が用いられる。通常、MSRには換気および配線のために複数の開口が設けられており、開口に起因する漏洩磁界を低減するために各層に短管ダクトを接続している。既報では、ダクトの最適設計を目的として、有限要素法を用いた磁界解析によりパーマロイ3層構造のMSRの性能を評価した。今回、MSRと比較して寸法が1/10程度の2層磁気シールドボックス(MSB)を作製し、開口に短管ダクトを取り付け、性能を評価した。MSBの実測結果と比較することにより解析手法の検証と、開口幅に対する内層、外層それぞれの短管ダクトの長さの最適設計を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,069 Kバイト