金電解めっきを用いた大変位MEMSミラーに関する研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-105

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Study on Si MEMS Mirror with Large Deflection-Angle Using Gold Electroplating.

著者名: 橋野 義弘(兵庫県立大学),吉田 憲弘(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学),高山 洋一郎(兵庫県立大学)

著者名(英語): Yoshihiro Hashino(University of Hyogo),Norihiro Yoshida(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo),Yoichiro Takayama(University of Hyogo)

キーワード: MEMS|ミラー|めっき

要約(日本語): 本研究では、耐久性と安定性の向上を目指し、折り曲げバネ形状のSiと大電流駆動のための電界めっきによる金配線を用いた電磁駆動型MEMS2軸ミラーの作製を行い、評価を行った。金電解めっきの特徴は、選択的かつ容易に厚膜の配線が形成可能である。EB蒸着により0.1mmのAu/Crをシード層として蒸着、パターニングした後、電流密度1mA/cm2で金電解めっきを行う。低電流駆動時に内ジンバルの光走査角は約0.30deg./mA、外ジンバルで0.83deg./mAであった。内ジンバル80mA駆動時に20deg.、外ジンバル60mA駆動時において30deg.となり非共振駆動にて大変位を得ることができた。なお、駆動電流150mAの大電流まで配線の断線は見られなかった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,205 Kバイト