直接電解金めっき法によるMEMS-RLG用Siミラーの反射率向上

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-106

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Improvement of reflectivity for Si mirrors in MEMS-RLG

著者名: 橋本 泰知(兵庫県立大学),中道 傑(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),高山 洋一郎(兵庫県立大学)

著者名(英語): Taichi Hashimoto(Univercity of Hyogo),Suguru Nakamichi(Univercity of Hyogo),Kazusuke Maenaka(Univercity of Hyogo),Takayuki Fujita(Univercity of Hyogo),Yoichiro Takayama(Univercity of Hyogo)

キーワード: リングレーザ|RLG|MEMS|ジャイロ|Siミラー|金めっき

要約(日本語): リングレーザジャイロ(RLG)は、加速度の影響を受けず、高精度、広ダイナミックレンジで角速度検出が可能な角速度センサである。しかし、光学デバイスには高いアライメントが要求され、小型化が困難であった。本研究室では、これまで小型化・量産性に優れたMEMS技術を用いたMEMS-RLGに関する研究を行ってきた。すでにMEMS-RLGの構成素子としてシリコン(Si)の異方性エッチングを利用したミラー、感光性エポキシ樹脂(SU-8)を用いたレンズ、プリズム及びレーザダイオード(LD)を設置するバネ構造の作製を行なっている。本稿では、光を周回させるミラーの反射率向上を図ったので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 955 Kバイト