Z軸微小振動およびX,Y 2軸傾斜機能を有する電磁駆動型光MEMSミラーの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-107

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): An Optical MEMS Mirror Driven by Electromagnetic Force with the Functions of Z-axis Vibration and X, Y Bi-directional Tilting

著者名: 渡部 善幸(山形県工業技術センター),三井 俊明(山形県工業技術センター),阿部 泰(山形県工業技術センター)

著者名(英語): Yoshiyuki Watanabe(Yamagata Research Institute of Technology),Toshiaki Mitsui(Yamagata Research Institute of Technology),Yutaka Abe(Yamagata Research Institute of Technology)

キーワード: 光MEMSミラー|電磁駆動|微小振動|2軸傾斜|低コヒーレント光|光波干渉

要約(日本語): 光波干渉計測法への応用を目的として、同期検波用Z軸高周波微小振動と光軸調整ならびに光スキャン用のX,Y2軸傾斜機能を有する電磁駆動型光MEMSミラーを開発した。X，Y2軸方向の静的傾斜特性を測定した結果，±10mAの駆動電流における光学角はX軸方向が±10°以上，Y軸方向が±5°以上であった。次に，Z軸方向の振動特性についてレーザードップラー振動計を用いて測定した。その結果，共振周波数は30.81kHz付近であり，駆動電圧の増加に伴い高周波側にシフトするハードスプリング効果が見られた。Q値は大気中動作ながら約1000で，駆動電圧6.54Vpp，周波数30.825kHzにおける振動振幅は0.99mmであった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,120 Kバイト