バルクマイクロマシニング技術を用いたERバルブの作製と評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-108

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Fabrication and Evaluation of ER Valve using Bulk Micro-Machining Technology

著者名: 齋藤 義憲(山形大学),原田 知親(山形大学),奥山 澄雄(山形大学),長沼 博(山形大学),松下 浩一(山形大学),中野 政身(山形大学)

著者名(英語): Yoshinori Saito(Yamagata University),Tomochika Harada(Yamagata University),Sumio Okuyama(Yamagata University),Hiroshi Naganuma(Yamagata University),Koichi Matsushita(Yamagata University),Masami Nakano(Yamagata University)

キーワード: バルクマイクロマシニング|機能性流体|ER流体|ERバルブ

要約(日本語): 外部電界を印加すると著しく見かけの粘性が変化する流体はER流体(Electro-Rheological Fluid)とよばれている．ER流体を用いることで，可動部がなく単純構造で流体の流れを制御するバルブが可能となる．ERバルブをバルクマイクロマシニング技術と陽極接合を用いて作製し評価した．バルクマイクロマシニング技術を用いてERバルブと流路を含む構造体が作製でき，ERバルブとして動作させる電界強度(1.3kV/mm)を印加できた．電界強度1.3kV/mmを印加することで，ER流体の供給圧力0.01MPa印加時では電圧のON-OFFのみで全閉状態と全開状態を切り替え流体の流れを制御することができた．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 873 Kバイト