表面弾性波応用マイクロ流体システム

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-109

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): A Micro-fluidic system using Surface Acoustic Wave

著者名: 佐藤 誠人(東北大学),桑野 博喜(東北大学),長澤 純人(東北大学),佐野 拓也(東北大学)

著者名(英語): Masato Sato(Tohoku University),Hiroki Kuwano(Tohoku University),Sumito Nagasawa(Tohoku University),Takuya Sano(Tohoku University)

キーワード: 表面弾性波|マイクロ流体|マイクロアクチュエータ|流量制御|周波数シフト

要約(日本語): 表面弾性波素子は1960年代から信号処理・移動体通信用デバイスに応用されてきた．表面弾性波を流体に応用した例としては液体の噴射や噴霧器などが研究されてきた。本報告では，表面弾性波素子を用いて，マイクロ流体の流量制御や混合が可能なマイクロ流体システムを提案し，その設計，作製法および評価などについて述べる．また，実験によりこのマイクロ流体システムでは印加電圧と周波数による流量制御が可能であることを示す。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 922 Kバイト