CMOS集積回路と一体化可能なスマート微小流体デバイスの提案

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-111

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Proposition of monolithic type smart micro fluidic device

著者名: 三宅 康夫(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学),高尾 英邦(豊橋技術科学大学),石田 誠(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Yasuo Miyake(Toyohashi University of Technology),Kazuaki Sawada(Toyohashi University of Technology),Hidekuni Takao(Toyohashi University of Technology),Makoto Ishida(Toyohashi University of Technology)

キーワード: マイクロ流路|マイクロ流体|流体デバイス|SU-8|XeF2エッチング

要約(日本語): 一般的にCMOS集積回路と流体デバイスを一体化するためには、CMOS集積回路が製作されたシリコン基板と流路が製作された基板を貼り合わせる方法が用いられている。しかし、この方法では面合わせ精度に限界があるため、マイクロサイズの流体デバイスをCMOS集積回路と一体化するのは困難である。また、集積回路製作プロセスとは全く異なる方法で作るため、CMOS製作プロセスとの整合性などに問題があった。そこで本研究ではCMOS集積回路製造プロセスと整合性が高い、モノリシック型スマート微小流体デバイスを提案する。提案するデバイスはシリコン酸化膜上に堆積させたシリコンと厚膜レジストSU-8/3000によって流路を形成している。製作したデバイスに液体(純水)の導入を試みた結果、液体が流れていることが確認できた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 809 Kバイト