ディスク型MEMS振動子のモード特性に関する考察

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-112

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): A Study on Mode Characteristic Analysis of Disk-Type MEMS Resonators

著者名: 昆野舜夫 (産業技術総合研究所),池原 毅 (産業技術総合研究所),Lu Jian (産業技術総合研究所),三原孝士 (オリンパス)

キーワード: ディスク型振動子|振動モード|理論解析|モード姿態|修正

要約(日本語): 面内で振動するディスク型機械振動子の理論解析は、古くからなされており、既に終了していると考えられていた。しかし、MEMS技術の進歩に伴い、高周波フィルタ等への応用を目的としてディスク型振動子が再度研究されるようになり、これに伴って新しい振動モードが存在するとする論文が発表された。本考察は、これまで広く使用され、参考文献としても数多く引用されてきた理論解析1)に誤りがあり、新しく発表された論文2)に従って修正すべきであることを指摘するものである。このため、上記の2つの解析と、同様の振動が生ずる穴あきディスク型振動子の解析との連続性調べた。ここでは解析結果の違いが視覚的に理解できるように振動のモード姿態を図示して、どちらが正しい解析であるかの理解を得る工夫を行った。なお、理論解析そのものの検討は最も大切であるが、それは2)の論文で十分である。(1) M. Onoe, J. of Acoustical Society of America, vol. 28, no. 6, pp.1158-1162, Nov. 1956 (2) Z. Hao, et. al., J. of Microelectromechanical Systems, vol. 13, no. 6, pp.1043-1053, Dec. 2004

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 797 Kバイト