周期加熱法を応用したフローセンサの回路モデル化

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-113

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Circuit Modeling of flow sencer using periodic heating method

著者名: 木村 修(矢崎総業),嘉山 春男(矢崎総業),金岡 佳充(矢崎総業),木村 繁男(金沢大学),木綿 隆弘(金沢大学),Vynnycky Michael(スェーデン王立工科大学)

著者名(英語): Osamu Kimura(Yazaki Corporation),haruo Kayama(Yazaki Corporation),yoshimitu Kanaoka(Yazaki Corporation),Shigeo Kimura(Kanazawa University),takahiro Kiwata(Kanazawa University),Vynnycky Michael(Royal Institute of Technology University)

要約(日本語): 我々はMEMS技術により製作したフローセンサと周期加熱法を組み合わせた新しい流速測定法を提案している。現在測定法のメカニズムについて調査しているが、このフローセンサは交流波形を入力すると交流波形を出力する。フローセンサを交流回路と見なし、流速に対しての出力を定量的に把握する事を目的として等価回路に置き換えた。センサを各要素に分解し理論的に電気回路に置き換えた後、各要素の回路モデルを結合し、フローセンサの等価回路とした。回路シミュレーションにおいて、等価回路の定数を調整し各流速におけるセンサの実測値と合わせ込みを行った結果、流速と回路定数において一定の関係が存在する事が判明したので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 807 Kバイト