積層平面マイクロコイルの製作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-124

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Production of a laminating plane coil

著者名: 須永 泰由(武蔵工業大学),鳥居 粛(武蔵工業大学)

著者名(英語): sunaga yasuyoshi(Musashi Institute of Technology),torii susumu(Musashi Institute of Technology)

キーワード: MEMS|マイクロアクチュエータ|電磁駆動|コイル

要約(日本語): MEMSに関する研究の中でもアクチュエータの研究には注目が集められている。マイクロサイズのアクチュエータの電磁駆動型に着目する。高アスペクト比構造の製作を可能とする装置の開発が進められているが、コストの問題から導入は敷居が高い。通常の半導体製造プロセスを応用したマイクロマシニングで製造可能なコイルの製作法を検討する。多層積層した構造のコイルを製作し、電流路微細化による磁束密度低下の問題を解消する。最終的には、電磁駆動型アクチュエータの駆動源としての応用を目的とする、積層平面コイルの製作を行う。製作方法と結果を示しコイルの抵抗率の測定を行い、導通を確認した。今後は、磁束密度を測定し、コイルの性能評価を行う。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 595 Kバイト