電磁駆動アクチュエータ用立体コイルラインの形成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-125

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Fabrication of spiral coil lines for electromagnetic actuators

著者名: 瀬戸本 勝(姫路工業大学),松本 吉史(兵庫県立大学),山下 修平(兵庫県立大学),野田 大二(兵庫県立大学),服部 正(兵庫県立大学)

著者名(英語): Masaru Setomoto(Himeji Institute of Technology),Yosifumi Matumoto(University of Hyogo),Syuuhei Yamasita(University of Hyogo),Daiji Noda(University of Hyogo),Tadashi Hattori(University of Hyogo)

キーワード: アクチュエータ|X線リソグラフィ|メッキ|コイル

要約(日本語): 電磁駆動アクチュエータに注目し、小型高出力化を目指している。小型化するに際して駆動源に使用されるコイルラインの微細化、高密度化が必要であった。そこでX線を使用した高アスペクト比構造体の加工技術である三次元X線リソグラフィプロセス、平滑電界メッキ、平滑エッチングによる高アスペクト比構造体への配線プロセスを用いて微細かつ高アスペクト比のコイルライン形成を行った。今回アクリルパイプ表面に線幅、溝幅ともに30μm、アスペクト比2の構造体を製作し、溝内部に空洞のないメッキ膜を成膜することに成功した。今後はコイルラインを完成させるとともに、アクチュエータに利用する際の最適なコイルライン形状を検討していく。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,675 Kバイト