DMD露光機を利用した3次元構造体作製に関する研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-126

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Three-dimensional structure fabricated by DMD exposure system

著者名: 田口 正敏(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),高山 洋一郎(兵庫県立大学)

著者名(英語): Masatoshi Taguchi(University of hyogo),Kazusuke Maenaka(University of hyogo),Takayuki Fujita(University of hyogo),Yoichiro Takayama(University of hyogo)

キーワード: DMD|露光機|3次元構造体

要約(日本語): 【目的】MEMSの作製では、微細化に加えマスクレス、ハーフトーン、非常に厚い試料や凹凸のある試料へのリソグラフィなど、特殊な機能が求められることが多く、本研究室ではそのような要求に応える事が可能なDMD露光機を試作している。本研究はマイクロホン等に応用可能な中空構造体をリソグラフィのみで容易に作製することを目的とする。【方法】露光機にはDMD(Digital Micromirror Device)を組み込んでおり、任意のパターンをx,y,z,θステージ上に投影する。同一の座標に異なるパターンを異なる時間投影することで、レジストそのものを3次元構造体として作製可能である。【結果】従来より容易に3次元構造体の作製が可能であることが確認できた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 823 Kバイト